Method of operating a lithography tool

WO2008142435 Art A1 27. November 2008

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008142435
Aktenzeichen: EP08737257
Anmeldetag: 7. Mai 2008
Veröffentlichung: 27. November 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Edwards Limited
Land: 🇬🇧 Großbritannien

🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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