Apparatus for manufacturing organic el device

WO2008142966 Art A1 27. November 2008

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008142966
Aktenzeichen: EP08752248
Anmeldetag: 30. April 2008
Veröffentlichung: 27. November 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H05B33/10H01L51/50H05B33/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ulvac, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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