Method of removing resist and apparatus therefor

WO2008143017 Art A1 27. November 2008

Anmelder: Meidensha Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008143017
Aktenzeichen
EP08752463
Anmeldetag
8. Mai 2008
Veröffentlichung
27. November 2008
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/027H01L21/3065
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Meidensha Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Meidensha

Meidensha ist ein japanischer Hersteller elektrischer Anlagen und Maschinen, unter anderem für Energieversorgung, Bahntechnik und Industrieanwendungen. Das Patentportfolio konzentriert sich auf elektrische Energietechnik sowie Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik, ergänzt durch Halbleiter und elektrische Bauelemente. Anmeldungen laufen durchgehend von 2004 bis 2025.

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