Spacer arranging method

WO2008143180 Art A1 27. November 2008

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008143180
Aktenzeichen: EP08752888
Anmeldetag: 16. Mai 2008
Veröffentlichung: 27. November 2008
Rechtsraum: WO
IPC: B05D1/26G02F1/1339

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ulvac, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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