Mems sensor and method of manufacturing the same

WO2008143191 Art A1 27. November 2008

Anmelder: Rohm Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008143191
Aktenzeichen: EP08752907
Anmeldetag: 16. Mai 2008
Veröffentlichung: 27. November 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G01P15/12G01P15/125H01L29/84

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Rohm Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Rohm

Japanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kyoto, spezialisiert auf integrierte Schaltkreise, diskrete Halbleiterbauelemente und Leistungshalbleiter (unter anderem Siliziumkarbid-Bauteile).

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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