System and method for measuring and mapping a sideforce for a mover

WO2008144219 Art A1 27. November 2008

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008144219
Aktenzeichen: EP08747715
Anmeldetag: 6. Mai 2008
Veröffentlichung: 27. November 2008
Rechtsraum: WO
IPC: A47B9/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Haushalts-, Möbel- & Konsumgüter

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