Inspection systems and methods for extending the detection range of an inspection system by forcing the photodetector into the non-linear range
WO2008144318
Art A1
27. November 2008
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2008144318
- Aktenzeichen
- EP08755403
- Anmeldetag
- 13. Mai 2008
- Veröffentlichung
- 27. November 2008
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/95H01J43/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.