Beleuchtungssystem mit wenigstens einem Akustoptischen Spiegel

WO2008145568 Art A1 4. Dezember 2008

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008145568
Aktenzeichen: EP08750352
Anmeldetag: 20. Mai 2008
Veröffentlichung: 4. Dezember 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02F1/33

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von