Epitaxial wafer manufacturing method and epitaxial wafer

WO2008146442 Art A1 4. Dezember 2008

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008146442
Aktenzeichen
EP08751571
Anmeldetag
18. April 2008
Veröffentlichung
4. Dezember 2008
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/322H01L27/148
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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