Process for producing high-concentration ozone water, apparatus therefor, method of substrate surface treatment and apparatus therefor

WO2008146584 Art A1 4. Dezember 2008

Anmelder: Meidensha Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008146584
Aktenzeichen: EP08752464
Anmeldetag: 8. Mai 2008
Veröffentlichung: 4. Dezember 2008
Rechtsraum: WO
IPC: B01F1/00C01B13/10G03F7/42H01L21/027H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Meidensha Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Meidensha

Meidensha ist ein japanischer Hersteller elektrischer Anlagen und Maschinen, unter anderem für Energieversorgung, Bahntechnik und Industrieanwendungen. Das Patentportfolio konzentriert sich auf elektrische Energietechnik sowie Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik, ergänzt durch Halbleiter und elektrische Bauelemente. Anmeldungen laufen durchgehend von 2004 bis 2025.

646 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von