Methods for manufacturing and reclaiming electrode for plasma processing apparatus

WO2008146918 Art A1 4. Dezember 2008

Anmelder: Mitsui Engineering & Shipbuilding Co., Ltd., Admap, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008146918
Aktenzeichen: EP08777054
Anmeldetag: 30. Mai 2008
Veröffentlichung: 4. Dezember 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065C23C16/509H05H1/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Mitsui Engineering & Shipbuilding Co., Ltd.
Admap, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsui Engineering & Shipbuilding

Mitsui Engineering & Shipbuilding ist ein japanischer Schiffbau- und Maschinenbaukonzern, der heute Teil von Mitsui E&S ist. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Fahrzeugtechnik für Schiffe, ergänzt durch Halbleiter-, Antriebs- und Fördertechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2018.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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