Methods for producing an antireflection surface on an optical element, optical element and associated optical arrangement

WO2008148462 Art A1 11. Dezember 2008

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008148462
Aktenzeichen
EP08758606
Anmeldetag
19. Mai 2008
Veröffentlichung
11. Dezember 2008
Rechtsraum
WO
IPC
G02B1/11C03C15/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Carl Zeiss SMT AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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