Charged particle beam inspection apparatus and method for inspecting charged particle beam

WO2008149461 Art A1 11. Dezember 2008

Anmelder: Advantest Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008149461
Aktenzeichen: EP07767076
Anmeldetag: 8. Juni 2007
Veröffentlichung: 11. Dezember 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/20G01B15/00G21K5/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Advantest Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Advantest

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, Hersteller von Testsystemen für Halbleiter und elektronische Bauteile.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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