Cutting method and wire saw device

WO2008149490 Art A1 11. Dezember 2008

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008149490
Aktenzeichen
EP08751668
Anmeldetag
2. Mai 2008
Veröffentlichung
11. Dezember 2008
Rechtsraum
WO
IPC
B28D5/04B24B27/06B24B57/02H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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