Environment control apparatus, stage apparatus, exposure apparatus, and device production method

WO2008149853 Art A1 11. Dezember 2008

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008149853
Aktenzeichen: EP08765014
Anmeldetag: 3. Juni 2008
Veröffentlichung: 11. Dezember 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027B65G49/00G03F7/20H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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