Hardmask composition having antireflective properties and method of patterning material on substrate using the same

WO2008150058 Art A1 11. Dezember 2008

Anmelder: CHEIL INDUSTRIES INC. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008150058
Aktenzeichen
EP07860834
Anmeldetag
31. Dezember 2007
Veröffentlichung
11. Dezember 2008
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/004
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CHEIL INDUSTRIES INC.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Cheil Industries Inc.

Ehemaliges südkoreanisches Chemie- und Materialunternehmen der Samsung-Gruppe, 2015 in Samsung C&T Corporation aufgegangen und heute nicht mehr eigenständig tätig.

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