Optofluidic maskless lithography system

WO2008150140 Art A2 11. Dezember 2008

Anmelder: Seoul National University Industry Foundation 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008150140
Aktenzeichen: EP08766160
Anmeldetag: 9. Juni 2008
Veröffentlichung: 11. Dezember 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Seoul National University Industry Foundation
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Seoul National University Industry Foundation

Die Seoul National University Industry Foundation ist die Technologietransfer-Organisation der Seoul National University in Südkorea. Das Patentportfolio verteilt sich auf Medizintechnik und Gesundheit, Pharma und Biotechnologie sowie Nachrichtentechnik, ergänzt durch organische Chemie und Halbleitertechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2021.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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