Apparatus and methods for improving treatment uniformity in a plasma process

WO2008150739 Art A1 11. Dezember 2008

Anmelder: Nordson Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008150739
Aktenzeichen: EP08769685
Anmeldetag: 23. Mai 2008
Veröffentlichung: 11. Dezember 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/32C23C16/458

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nordson Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Nordson

Nordson ist ein US-amerikanischer Hersteller von Präzisionsdosier- und Auftragssystemen für die industrielle Fertigung. Das Portfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik, ergänzt durch Kunststofftechnik, Verpackung sowie Mess- und Prüfsysteme, etwa für die Röntgeninspektion von Bauteilen. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von