Masking High-Aspect Ratio Structures
WO2008150930
Art A2
11. Dezember 2008
Anmelder: University of Utah Research Foundation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2008150930
- Aktenzeichen
- EP08769829
- Anmeldetag
- 29. Mai 2008
- Veröffentlichung
- 11. Dezember 2008
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- University of Utah Research Foundation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
University of Utah Research Foundation
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