A process for polishing patterned and unstructured surfaces of materials and an aqueous polishing agent to be used in the said process

WO2008151918 Art A1 18. Dezember 2008

Anmelder: BASF SE, Basf Se 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008151918
Aktenzeichen: EP08759994
Anmeldetag: 26. Mai 2008
Veröffentlichung: 18. Dezember 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/321

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: BASF SE
Basf Se
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 BASF

Deutscher Chemiekonzern mit Sitz in Ludwigshafen, gegründet 1865. Entwickelt und produziert Chemikalien, Kunststoffe, Agrarprodukte und Materialien für zahlreiche Industriezweige.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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