Apparatus and method for performing secondary ion mass spectroscopy

WO2008152132 Art A2 18. Dezember 2008

Anmelder: IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008152132
Aktenzeichen: EP08774086
Anmeldetag: 13. Juni 2008
Veröffentlichung: 18. Dezember 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01J49/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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