Inspection device, inspection method, and program

WO2008152801 Art A1 18. Dezember 2008

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008152801
Aktenzeichen: EP08764077
Anmeldetag: 10. Juni 2008
Veröffentlichung: 18. Dezember 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/956G01J3/46G01N21/88H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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