Process for producing magnetic device, apparatus for producing magnetic device, and magnetic device
WO2008152915
Art A1
18. Dezember 2008
Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2008152915
- Aktenzeichen
- EP08776955
- Anmeldetag
- 28. Mai 2008
- Veröffentlichung
- 18. Dezember 2008
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L43/12G11B5/39H01F41/18H01L21/8246H01L27/105H01L43/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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