Process for producing magnetic device, apparatus for producing magnetic device, and magnetic device

WO2008152915 Art A1 18. Dezember 2008

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008152915
Aktenzeichen
EP08776955
Anmeldetag
28. Mai 2008
Veröffentlichung
18. Dezember 2008
Rechtsraum
WO
IPC
H01L43/12G11B5/39H01F41/18H01L21/8246H01L27/105H01L43/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Ulvac, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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