Method of cleaning object and object cleaning system
WO2008153107
Art A1
18. Dezember 2008
Anmelder: Aqua Science Corporation, Kyushu University, National University Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2008153107
- Aktenzeichen
- EP08765537
- Anmeldetag
- 12. Juni 2008
- Veröffentlichung
- 18. Dezember 2008
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/304B08B3/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Aqua Science Corporation
Kyushu University, National University Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Kyushu University
Kyushu University ist eine staatliche Universität in Fukuoka, Japan, mit Forschungsschwerpunkten in Natur- und Ingenieurwissenschaften.
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