Tunnel magnetoresistive thin film and magnetic multilayer film formation apparatus

WO2008155995 Art A1 24. Dezember 2008

Anmelder: Canon Anelva Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008155995
Aktenzeichen
EP08765231
Anmeldetag
6. Juni 2008
Veröffentlichung
24. Dezember 2008
Rechtsraum
WO
IPC
H01L43/08G01R33/09G11B5/39H01F10/16H01F10/32H01L21/8246H01L27/105H01L43/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Canon Anelva Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Canon Anelva

Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.

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