Systems and methods for oscillating exposure of a semiconductor workpiece to multiple chemistries

WO2008156963 Art A1 24. Dezember 2008

Anmelder: Micron Technology, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008156963
Aktenzeichen: EP08769649
Anmeldetag: 22. Mai 2008
Veröffentlichung: 24. Dezember 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00H01L21/306

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Micron Technology, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Micron Technology

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Boise, Idaho. Micron entwickelt und fertigt Speicherchips wie DRAM und NAND-Flash sowie Speicherlösungen für Computer, Mobilgeräte, Rechenzentren und Automobile.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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