Controlling passivating film properties using colloidal particles polyelectrolytes, and ionic additives for copper chemical mechanical planarization

WO2008157293 Art A1 24. Dezember 2008

Anmelder: BASF SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008157293
Aktenzeichen: EP08770946
Anmeldetag: 13. Juni 2008
Veröffentlichung: 24. Dezember 2008
Rechtsraum: WO
IPC: C09C1/68C09K3/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: BASF SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 BASF

Deutscher Chemiekonzern mit Sitz in Ludwigshafen, gegründet 1865. Entwickelt und produziert Chemikalien, Kunststoffe, Agrarprodukte und Materialien für zahlreiche Industriezweige.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe

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