Verfahren zur Herstellung von Substraten

WO2009000258 Art A1 31. Dezember 2008

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009000258
Aktenzeichen
EP08784258
Anmeldetag
16. Juni 2008
Veröffentlichung
31. Dezember 2008
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/768H01L21/302
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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