Anordnung und Verfahren zum Prozessieren eines Substrats

WO2009000930 Art A1 31. Dezember 2008

Anmelder: Intega GmbH, L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude, Infineon Technologies AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009000930
Aktenzeichen: EP08774498
Anmeldetag: 27. Juni 2008
Veröffentlichung: 31. Dezember 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/08F16L11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Intega GmbH
L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Infineon Technologies AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik

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