Verfahren und Vorrichtung zum Behandeln eines Halbleitersubstrats

WO2009000932 Art A1 31. Dezember 2008

Anmelder: Intega GmbH, L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009000932
Aktenzeichen: EP08774500
Anmeldetag: 27. Juni 2008
Veröffentlichung: 31. Dezember 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/08F16L11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Intega GmbH
L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik

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