Coarse-fine movement device and fluid supply device with the same

WO2009001611 Art A1 31. Dezember 2008

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009001611
Aktenzeichen: EP08740761
Anmeldetag: 22. April 2008
Veröffentlichung: 31. Dezember 2008
Rechtsraum: WO
IPC: B23Q1/60B05C5/00G12B5/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ulvac, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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