Systems and methods for adapting parameters to increase throughput during laser-based wafer processing

WO2009002364 Art A1 31. Dezember 2008

Anmelder: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009002364
Aktenzeichen: EP07864868
Anmeldetag: 29. November 2007
Veröffentlichung: 31. Dezember 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G11C29/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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Fachgebiete

Akustik, Musik & Datenspeicherung

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