Coat forming method

WO2009004913 Art A1 8. Januar 2009

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009004913
Aktenzeichen: EP08777253
Anmeldetag: 17. Juni 2008
Veröffentlichung: 8. Januar 2009
Rechtsraum: WO
IPC: B05D1/26B05D3/00B41J2/01

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ulvac, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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