Methods for fabricating complex micro and nanoscale structures and electronic devices and components made by the same

WO2009005863 Art A2 8. Januar 2009

Anmelder: The Board of Trustees of the University of Illinois 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009005863
Aktenzeichen
EP08826075
Anmeldetag
2. April 2008
Veröffentlichung
8. Januar 2009
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/26H01L27/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
The Board of Trustees of the University of Illinois
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Board of Trustees of the University of Illinois

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