Polyceramic E-Chuck
WO2009005921
Art A2
8. Januar 2009
Anmelder: Praxair Technology, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2009005921
- Aktenzeichen
- EP08756588
- Anmeldetag
- 2. Juni 2008
- Veröffentlichung
- 8. Januar 2009
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H02N13/00H01L21/683
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Praxair Technology, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Praxair Technology
US-amerikanisches Unternehmen im Bereich Industriegase, das Verfahren und Technologien zur Gasproduktion entwickelt, heute Teil des Linde-Konzerns.
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