Method of measuring a deviation of an actual shape from a target shape of an optical surface

WO2009006914 Art A1 15. Januar 2009

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009006914
Aktenzeichen: EP07765114
Anmeldetag: 6. Juli 2007
Veröffentlichung: 15. Januar 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G01B9/021G01B11/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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