Optical element and method of calibrating a measuring apparatus comprising a wave shaping structure

WO2009007087 Art A1 15. Januar 2009

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009007087
Aktenzeichen: EP08773915
Anmeldetag: 8. Juli 2008
Veröffentlichung: 15. Januar 2009
Rechtsraum: WO
IPC: B24B13/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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