Polishing apparatus and polishing method
WO2009008532
Art A1
15. Januar 2009
Anmelder: Kabushiki Kaisha Toshiba, EBARA CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2009008532
- Aktenzeichen
- EP08778125
- Anmeldetag
- 8. Juli 2008
- Veröffentlichung
- 15. Januar 2009
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B24B21/08B24B9/00B24B21/16H01L21/304
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Kabushiki Kaisha Toshiba
EBARA CORPORATION - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Toshiba
Japanischer Konzern, der Elektronik, Halbleiter, Energie- und Infrastrukturtechnik sowie Industrieanlagen entwickelt und herstellt.
13.642 Patente in unserer Datenbank
🇯🇵
Ebara
Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.
1.514 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.