A dual-stage switching system for a lithographic machine

WO2009009947 Art A1 22. Januar 2009

Anmelder: Tsinghua University 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009009947
Aktenzeichen: EP08714955
Anmeldetag: 14. März 2008
Veröffentlichung: 22. Januar 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tsinghua University
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Tsinghua University

Chinesische Universität mit Sitz in Peking, eine der führenden Forschungshochschulen des Landes. Aktiv in Ingenieurwissenschaften, Informatik, Materialwissenschaften und Naturwissenschaften sowie in zahlreichen technischen Anwendungsfeldern.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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