Plasma Reactor

WO2009010792 Art A2 22. Januar 2009

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009010792
Aktenzeichen: EP08776204
Anmeldetag: 14. Juli 2008
Veröffentlichung: 22. Januar 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/32H05H1/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Edwards Limited
Land: 🇬🇧 Großbritannien

🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von