High-frequency induction heating apparatus and plasma cvd apparatus

WO2009011015 Art A1 22. Januar 2009

Anmelder: Shimadzu Corporation, Kyosan Electric Mfg. Co. Ltd 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009011015
Aktenzeichen: EP07790745
Anmeldetag: 13. Juli 2007
Veröffentlichung: 22. Januar 2009
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/46H01L21/205H05B6/10H05H1/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Shimadzu Corporation
Kyosan Electric Mfg. Co. Ltd
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shimadzu

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Kyoto. Shimadzu entwickelt Analyse- und Messgeräte, medizinische Bildgebungssysteme sowie Komponenten für Luft- und Raumfahrt, Industrie und Wissenschaft.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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