Polishing apparatus

WO2009011408 Art A1 22. Januar 2009

Anmelder: Ebara Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009011408
Aktenzeichen: EP08778260
Anmeldetag: 11. Juli 2008
Veröffentlichung: 22. Januar 2009
Rechtsraum: WO
IPC: B24B21/00B24B9/00H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ebara Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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