Inspecting apparatus and inspecting method

WO2009011417 Art A1 22. Januar 2009

Anmelder: Nikon Corporation, Sakaguchi, Naoshi 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009011417
Aktenzeichen: EP08791305
Anmeldetag: 18. Juli 2008
Veröffentlichung: 22. Januar 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/892G01B11/00G01N21/95

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
Sakaguchi, Naoshi
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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