Method for fabricating dual damascene profiles using sub pixel-voting lithography and devices made by same
WO2009012111
Art A1
22. Januar 2009
Anmelder: The Board of Trustees of the University of Illinois 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2009012111
- Aktenzeichen
- EP08781605
- Anmeldetag
- 10. Juli 2008
- Veröffentlichung
- 22. Januar 2009
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/4763H01L27/108
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- The Board of Trustees of the University of Illinois
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Board of Trustees of the University of Illinois
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