In-Situ Ion Source Cleaning For Partial Pressure Analyzers Used in Process Monitoring

WO2009012149 Art A1 22. Januar 2009

Anmelder: Inficon, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009012149
Aktenzeichen: EP08781692
Anmeldetag: 11. Juli 2008
Veröffentlichung: 22. Januar 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01J49/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Inficon, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇩🇪 Inficon

Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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