Method for providing a crystalline germanium layer on a substrate

WO2009013034 Art A1 29. Januar 2009

Anmelder: IMEC, Vrije Universiteit Brussel 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009013034
Aktenzeichen: EP08749910
Anmeldetag: 30. April 2008
Veröffentlichung: 29. Januar 2009
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/28C23C14/06C23C16/56C23C14/58C30B1/02C30B29/08H01L21/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC
Vrije Universiteit Brussel
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

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🇧🇪 Vrije Universiteit Brussel

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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