Substrate adsorbing stage device

WO2009013799 Art A1 29. Januar 2009

Anmelder: Hirata Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009013799
Aktenzeichen: EP07791116
Anmeldetag: 20. Juli 2007
Veröffentlichung: 29. Januar 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683B65G49/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hirata Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hirata

Hirata ist ein japanischer Hersteller von Automatisierungs- und Fertigungsanlagen, unter anderem für die Elektronik- und Displayindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verpackungs- und Fördertechnik sowie Werkzeug- und Fertigungstechnik, ergänzt durch Halbleitertechnik. Die Titel betreffen Pressvorrichtungen und Produktionsverfahren für Displayeinheiten.

290 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik

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