Method for treating object and object treatment system

WO2009014084 Art A1 29. Januar 2009

Anmelder: Aqua Science Corporation, Kyushu University, National University Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009014084
Aktenzeichen
EP08791315
Anmeldetag
18. Juli 2008
Veröffentlichung
29. Januar 2009
Rechtsraum
WO
IPC
B08B3/02H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Aqua Science Corporation
Kyushu University, National University Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Kyushu University

Kyushu University ist eine staatliche Universität in Fukuoka, Japan, mit Forschungsschwerpunkten in Natur- und Ingenieurwissenschaften.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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