Temperature Probes Having A Thermally Isolated Tip

WO2009014609 Art A1 29. Januar 2009

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009014609
Aktenzeichen: EP08780149
Anmeldetag: 11. Juli 2008
Veröffentlichung: 29. Januar 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G01K11/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Lam Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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