Methods for generating a standard reference die for use in a die to standard reference die inspection and methods for inspecting a wafer
WO2009015084
Art A2
29. Januar 2009
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2009015084
- Aktenzeichen
- EP08796377
- Anmeldetag
- 21. Juli 2008
- Veröffentlichung
- 29. Januar 2009
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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